マイクロ機能デバイス研究センター
本施設は文部科学省学術フロンティア推進事業｢マイクロ機械／知能エレクトロニクス集積化技術の総合研究｣を推進するために平成1７年に開設され，平成21年度から共同研究施設としての利用を開始しました。この施設では，マイクロマシンなどの超微細な機械システム，また，高機能な半導体素子，回路等の電子システムの研究開発を支援しています。施設では空気中の塵埃を極限まで抑えたクラス１０００(一部クラス１００）のクリーンルームが稼動し，その中には，シリコンウエハーに超微細加工を施す装置類（両面コンタクトアライナー，電子線描画装置，プラズマエッチャー，ＣＶＤ装置など）が導入されています。現在，マイクロマシン，マイクロロボット，センサー，耐環境デバイス，ＡＩ素子，量子デバイス等の研究テーマの支援をしています。
詳細
http://www.mdc.cst.nihon-u.ac.jp/
問い合わせ先
船橋校舎
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